详细摘要: 混气管式PECVD系统由单温区管式炉、真空系统、质子流量计、射频电源系统系统组成PECVD设备是借助于光放电等方法产生等离子体,
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产品型号:S-1200H-CVD所在地:更新时间:2023-03-16 在线留言环保在线 设计制作,未经允许翻录必究 .
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